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真空系統對閥門的要求
發布時間:2020-07-26 13:04:26 | 瀏覽次數:


     對大多數真空系統來說,真空閥門應具有以下性能。
1, 防銹性
在與真空環境接觸的材料一定要具有良好的防銹性能。因此廣泛采用鋁合金,銅合金和不銹鋼來制造真空隔離部件。
2, 工作壓力范圍在0~2.5×105Pa
  相對較寬的壓力范圍,會使產品的使用面更廣,而且閥板密封采用是雙向的,至少閥板在反頂大氣壓時也可密封。
3, 低漏率
在高真空領域內漏率應<10-7Pa·l·s-1,較低的漏率有利于提高系統的效率,對降低生產成本很有效。
4, 起動時,震動低,對系統沖擊小。
5, 結構緊湊,重量輕
6, 明顯的閥位指示
7, 可選配加裝閥門啟閉信號控制器,便于編程自動化控制。
8, 高流導
9, 采用波紋管作為位移的動密封
無動態漏氣,無油脂污染,可靠性高,相對橡膠密封,可靠性高可以避免產生顆粒污染。
10,真空部分盡量避免采用真空脂。
11,盡量減少真空部件內的無用空間,以保證真空獲得的時間更少。
12,盡可能的減少功耗

 
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